Кремний - материал наноэлектроники

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.

Краткое оглавление:

• Предисловие
• Введение
• Глава 1. Физические принципы наноэлектроники
• Глава 2. Кремниевая одноэлектроника
• Глава 3. Оптические и фотоэлектрические свойства квантово-размерных структур Si—Ge
• Глава 4. Методы получения самоорганизованных Si—Ge- наноструктур
• Глава 5. Синтез проводящих и полупроводниковых соединений в кремнии
• Глава 6. Формирование наноразмерных структур при ионном распылении поверхности полупроводников
• Глава 7. Нанокристаллы кремния, получаемые разными способами
• Глава 8. Квантовые точки из монокристаллического Si, сформированные ионной имплантацией в пленках SiO2
• Глава 9. Перспективы кремниевой наноэлектроники
• Заключение
• Список принятых сокращений

Автор: Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н.
Издательство: Техносфера
Серия: Мир материалов и технологий
Год издания: 2007
Страниц: 352
ISBN: 978-5-94836-101-7
Качество: хорошее
Формат: DjVu (о формате)

 

Скачать книгу (6,6 МБ):