А.П. Достанко. Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Издательство: Беларуская навука
Год: 2018
Cтраниц: 272
Формат: pdf
Язык: русский

 

Скачать книгу (18,2 МБ):